荷兰光刻机是哪位科学家发明的

荷兰光刻机是哪位科学家发明的？

1959年，世界上第一架晶体管计算机诞生，提出光刻工艺，仙童半导体研制世界第一个适用单结构硅晶片，1960年代，仙童提出CMOSIC制造工艺，第一台IC计算机IBM360，并且建立了世界上第一台2英寸集成电路生产线，美国GCA公司开发出光学图形发生器和分布重复精缩机。

　　光刻机是集成电路制造中最精密复杂、难度最高、价格最昂贵的设备，用于在芯片制造过程中的掩膜图形到硅衬底图形之间的转移。集成电路在制作过程中经历材料制备、掩膜、光刻、刻蚀、清洗、掺杂、机械研磨等多个工序，其中以光刻工序最为关键，因为它是整个集成电路产业制造工艺先进程度的重要指标。

荷兰芯片光刻机制造商阿斯麦（ASML）的两位专家，Erik Loopstra 和俄罗斯裔荷兰人Vadim Banine，今天获得欧洲专利局的科学发明奖，表彰他们发明了用紫外线技术，制造出更小更快速的晶体芯片。