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光刻机能刻光栅吗

2023-12-23 19:52:44 互联网 未知 科技

光刻机能刻光栅吗?

光刻机能刻光栅吗

光刻机能刻光栅因为光刻机本身就有光栅功能。

光栅阵列像加工精度极高的铣削或钻床一样,可以不磨光完成制造。光刻机内由光刻模组和刻蚀模组两部分组成,刻蚀模组是将传统的光刻原理与现代材料加工结合在一起的完美设备。光刻机每一次制造的过程包括:光栅扫描、选择性扫描和刻蚀三个过程。