超分辨率光刻机能生产芯片吗？能。这个超分辨率光刻机应该是指中科院光电技术研究所的22nm超分辨率光刻机，是利用表面等离子超衍射光刻技术，是能够生产芯片的，不过这种光刻机基本就是直写式光刻机，能够制造简单的芯片，而且产量比较低，一般用于科研任务，而不是商业芯片的生产。
