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超分辨率光刻机能生产芯片吗

2023-07-17 00:09:30 互联网 未知 科技

超分辨率光刻机能生产芯片吗?

超分辨率光刻机能生产芯片吗

能。这个超分辨率光刻机应该是指中科院光电技术研究所的22nm超分辨率光刻机,是利用表面等离子超衍射光刻技术,是能够生产芯片的,不过这种光刻机基本就是直写式光刻机,能够制造简单的芯片,而且产量比较低,一般用于科研任务,而不是商业芯片的生产。