国产光刻机22纳米的公司是哪个？国产光刻机没有22纳米的。国产光刻机目前并没有22纳米的。目前国内唯一能够制造光刻机的公司是上海微电子，也是全球四家能够制造光刻机的公司之一。上海微电子目前能量产的光刻机是90纳米干式光刻机，而技术上已经可以28纳米光刻机，目前处于待量产阶段，但并不能制造22纳米光刻机。
